2.1 质量数范围：1～200 amu
2.2 快速毛细管取样系统
2.2.1 内置惰性石英毛细管，外部为不锈钢套，柔韧，可弯曲
2.2.2 加热温度至200℃，2m长
2.2.3 300ms内对于气体浓度的变化做出反应
2.2.4 取样管流量：1～20sccm，可调节
2.2.5 取样压力：100mbar～2bar，自适应
2.2.6 进样系统无隔离阀，不采用外部加热套的加热方式
2.3真空系统：
2.3.1 60 l/s 超高真空涡轮分子泵一套和6m3/h涡旋泵一套
2.3.2 机械泵作为涡轮分子泵的前级泵, 并具有旁路真空系统，快速响应
2.3.3 保护控制器和真空Penning规，用于检测真空和在过压时进行互锁以保护质谱
★2.4 检测极限：5ppb
★2.5测量通道：>200个，MID 模式
2.6最小扫描步阶：0.01amu
2.7快速扫描速度：100amu/s
2.8最小检测分压：法拉第杯检测器2×10－11mbar;电子倍增器2×10－14mbar
2.9压力显示：具有真空计在仪器外部显示质谱仪工作压力

探针式轮廓仪主要用于材料表面表征，主要用于薄膜厚度测量和材料表面沟槽以及台阶高度测量，具有安全可靠，易于操作，仪器稳定性好等特点。由于目前我们学院对于膜厚测量以及材料中台阶高度测量没有相应的表征手段，但是在纳米薄膜材料制备过程中，对于厚度的监控非常重要，且很频繁，所以我们急需要采购一台探针式轮廓仪用于目前的科研工作。结合学校自身的科研需求，我们对探针式轮廓仪要求是必须具备以下几点：第一，测试精度高，具有快速探针更换工具，便于学校不同老师不同的科研项目快速使用不同的测试模式，便于操作。第二，仪器垂直方向分辨率要达到1埃，重复性要小于4埃的水平；第三，仪器要具有成熟的LVDT传感器技术。

计划购置的仪器设备在科研中发挥了极其重要作用，是进行电化学催化反应研究领域不可或缺的重要仪器。对样品电化学过程中的表征、测试起到关键性的作用。可服务于我校化工学院建设，促进构建紧密的产学研体系，为发表高层次科研成果提供了良好的基础。

对此仪器将采取教师加实验员双人负责制，明确规定测试人员的岗位职责、工作范围。由经过培训考核，经过授权的上岗人员操作。
实验室仪器操作人员、设备管理员将按照明确分工确保仪器设备处于良好的工作状态，并对设备进行日常维护/定期维护和定期保养。专门配备仪器设备维护的有关技术资料，对设备的维护保养工作实行专人记录，对仪器的使用记录建立设备档案，一机一档

1500/样-原位测试