分析模式分辨率：3.0nm@15kV/5nA/WD=10mm.

背散射电子分辨率：1.6nm@30kV加速电压：不窄于0.01-30kV,最小步进可达10V,连续可调，无需模式更换
分析束流：范围不窄于数pA-300nA,可调，保证元素分析时能提供足够的束流，保证分析的快速、准确；在低电压下5KV下，保证束流不低于100nA,保证能在低电压进行高空间分辨率的能谱分析

放大倍数：光学模式：1-x30;电镜模式x10～x1,000,000(128 x96mm底片放大倍率条件下),配有大景深模式，放大倍数粗、细模式连续可调。具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能

二次电子分辨率：0.7nm@20kV;1.3nm@1kV,具有卓越的低电压分辨率，可直接观察不导电样品

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是现代材料表面形貌分析的重要仪器，它是利用细聚焦的高能电子束轰击材料表面，通过电子与材料相互作用，产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及特征X射线等，通过对这些电子束的收集和分析，就可以获得材料表面的形貌、组分等信息，

多用途分析型场发射扫描电子显微镜是先进的表面分析仪器，具有大束流、高分辨的特点，除得到样品表面的高分辨率形貌图像外，还可以配有电制冷X射线能谱仪和电子背散射衍射附件，等同时进行样品微区表面的元素分析。可以加装各种原位反应台，进行原位研究。

全对中测角样品台、5轴马达驱动
X：70mm  Y：50mm  Z：2mm～25mm 倾斜－5～＋70° 旋转360°，
非磁性干燥样品，样品直径小于26mm，高度低于1cm。

SEM（50000倍以上） 【院外：150】/样品SEM（50000倍以上） 【院内：150】/样品
EDS 【院外：50】/样品EDS 【院内：50】/样品
喷金 【院外：10】/样品喷金 【院内：10】/样品
SEM（20-50000倍） 【院外：100】/样品SEM（20-50000倍） 【院内：100】/样品