台式高性能多功能PVD薄膜制备设备
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- 型号：nanoPVD S10A
- 厂商：Moorfield Nanotechnology Limited
- 所在地区：河南省洛阳市洛龙区
- 服务次数：0
服务信息
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Moorfield Nanotechnol nanoPVD S10A 主要功能及应用方向： 用于在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构， 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
腔体直径200mm，高度240mm，3个溅射靶位，2英寸溅射靶材，直流射频电源可同时输出 -
Moorfield Nanotechnol nanoPVD S10A 主要功能及应用方向： 用于在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构， 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
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在半导体、陶瓷、金属等多种基底上制备高质量的多能薄膜结构， 包括金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等。
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