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热场发射扫描电子显微镜(含截面AR离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪)

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  • 仪器分类:分析仪器 -> 其他 -> 其他
    • 型号:SUPRA55FESEM
    • 厂商:德国卡尔蔡司公司
  • 所在地区:河南省郑州市金水区
  • 服务次数:0

服务信息

扫描速度:标配提供17种非隔行电子束扫描速度,从25ns像素驻留时间到1.64ms像素驻留时间。样品仓尺寸: 120mm Ø x 120mm high(4.75 x 4.75) 。样品座:12 SEM ½ 样品座,可调节高度最大高度60mm。本仪器为德国Carl Zeiss场发射扫描电镜(FESEM),配备牛津仪器Oxford AZtec X-Max 150 X射线能谱仪(EDS)及Gatan MonoCL4阴极荧光谱仪。场发射扫描电镜:1.最高分辨率:0.8nm(15kV);1.6nm(1kV);2.放大倍率:12-1000000;3.电子光学系统:①加速电压:20V-30kV,连续可调;②灯丝:肖特基场发射电子枪;4.探测器及成像系统:①样品室内ET二次电子探测器:二次电子像;②In-lens镜筒内高效率二次电子探测器:In-lens图像;③集成在物镜底端角度选择背散射电子探测器:成分像。5.样品室真空度:2*10-4pa。
X射线能谱仪:150mm2大面积分析型SDD探头;Mn Ka优于127eV,谱峰稳定性:1000cps到100000cps,Mn Ka谱峰漂
扫描电镜利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试样品表面形貌的观察。并配有能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
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