1. 二次电子像分辨率：在15 kV下可达0.5纳米，在1 kV下可达0.7纳米；2. 可实现从20倍到2,000,000倍的连续放大范围；3. 加速电压范围：0.5至30 kV；4.低真空分辨率：15kV（30Pa）时优于或等于1.2nm，3kV（30Pa）优于或等于1.8nm；5. 样品室配备低真空二次电子探测器。

主要用于各种材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。适合分析最广泛的样品范围：从传统的金属材料（包含磁性材料）、断口和抛光断面，到不导电的软物质、生物样品的微区形貌、成分和相分布分析。配置X射线能谱仪(EDS) 用于分析X射线信号，了解电子束激发部位试样的微区成分。有图象功能的能谱仪，除了用于进行样品微区成分的定性、定量分析外，还可以进行电镜图象的收集和处理；以及完成快速数字X射线面分布图、定量成分图、线扫描分析等。

超高分辨微观形貌观察、EDS元素微区分析

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普通模式：700元/小时；低真空模式：800元/小时