1、反应腔体压力10Pa-120kPa
2、真空抽速>85m³/h，极限真空4Pa
3、升压时间（10Pa-100kPa）<2mins
4、煅烧温度300-800℃，煅烧后水分<0.5%，产量30kg/h
5、流量计量程从0-0.5SCCM到0-1000SLPM，量程可测比0.01%-100%满量程，工作温度-10℃-60℃，温度精度±0.75℃
6、进出口最大允许瞬时压差70kPa
7、满足投料生产全流程一体化，全系统闭式循环

制造纳米粉体

硅碳负极纳米粉体制备

严格按操作规程执行操作

协议收费