1、腔室压力条件：
反应腔体压力10 Pa-120 kPa 范围可调，生产过程中 20KPa-80KPa可任意
区间维持压力动态平衡;
真空抽速大于90m3/h，极限真空 4pa ;
腔体压力从10pa-100KPa升压时间小于2min;
防爆压力大于0.28MPa；
2、粉末粒径 30 纳米-5 微米可控调节。
3、冷阱系统最低温度-40℃。
4、水冷循环系统水温调节范围：5~35℃（出水口）。

制备跨尺度金属粉体

粉末粒径 30 纳米-5 微米
制备铁基纳米粉体，D50小于50纳米，每小时目标粉体产量大于100克，
通粉收集率大于65%，钝化层厚度小于3纳米；满足全流程全时段取样；

严格执行操作规范

面议