分析室优于5E-10Torr；
进样室优于5E-9Torr；
最佳能量分辨率（Ag3d5/2）优于0.45eV@160kcps；
和（PET）优于0.68eV（O-C=O的C 1s）@30kcps（C-C的C 1s）；
快速平行成像空间分辨：优于1um。

该仪器除应用于常规XPS样品测试外，还可以原位催化XPS测试，深度剖析，UPS测试，配Mg靶、Al靶、Ag靶，可以面对XPS仪器测试的绝大部分样品。

可用于定性分析以及半定量分析, 一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。一般有以下几个方面的应用：
1、元素组成分析
2、化学态分析
3、半定量分析
4、深度剖析

请提前与设备管理员联系。

（1）常规测试：院内300元/样品，院外600元/样品；
（2）深度剖析测试：院内1800元/样品，院外3600元/样品；
（3）表面清洁处理：院内180元/样品，院外360元/样品；
（4）UPS：院内120元/样品，院外240元/样品；
（5）成像：院内600元/样品，院外1200元/样品；
（6）原位催化反应池：院内2500元/样品，院外5000元/样品；
（7）解谱：院内180元/样品，院外360元/样品；
具体收费标准请提前与设备管理员联系确定。