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跨尺度纳米级三维激光直写设备

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  • 仪器分类:工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
    • 型号:MJ-Works
    • 厂商:烟台魔 技纳米 科技有 限公司
  • 所在地区:河南省郑州市管城回族区
  • 服务次数:0

服务信息

1.最小特征尺寸(光刻胶):≤70nm;
2.最佳表面粗糙度Ra(光刻胶):≤20nm
3.加工分辨率:350nm;
4.双波长输出1030nm/515nm,最高功率≥10W;
5.激光调制频率:≥1MHz;
6.加工样品区域可调最大高度:≥5mm;
7.定位精度<50mm;
8.最大加工面积:150mm×150mm;
减材加工硬质材料
可加工材料:ORMOCER?s,SU-8,AZ-series,ma-P 1200 等光刻胶;玻璃、金属、合金、光纤、晶体、硅片、半导体等材料;
严格执行操作规范
200元/h

联系方式

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