1. 定位精度：±10nm；

2. 压痕载荷范围：低载0.2~10mN，高载10mN~10N；

3. 划痕长度：低载＜15μm，高载＜2cm；

4. 原位成像扫描尺寸范围：5×5μm~75×75μm；

5. XPM快速打点区域：70×70μm，且只能在低载下(<10mN)测试；

6. 探针类型：三棱锥探头、圆锥探头。

1. 纳米压痕：通过纳米压痕测试材料的硬度、弹性模量等性能；
2. 纳米划痕：通过纳米划痕测试表面材料的摩擦系数、结合力等；
3. DMA动态纳米压痕：可提供弹/塑性和黏弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系；
4. 原位扫描探针成像：获取样品表面高度形貌成像和纳米级别的定位精度，可实现在扫描图指定位置测试，获得材料的3D形貌图、表面粗糙度、膜厚等物理量；
5. XPM快速力学性能成像：可获得样品表面弹性模量或硬度的mapping图；
6. 纳米磨损试验：测试材料耐磨性能，可调节磨损力和磨损次数，定量测试磨损体积及磨损高度。

硬度、弹性模量、加载曲线、接触刚度测试；
对材料的微观结构分析及其力学性能研究具有重要的支撑作用。

1. 不能测黏性样品；

2. 样品测试面光滑平整，测试面与底面平行；

3. 不规则样品或者太小样品需要镶嵌树脂里面，抛光处理，样品的镶嵌，一定要用硬树脂。

1、纳米压痕：400元/样(5个点起步)，每增加1点80元
2、纳米划痕：300元/条
3、动态机械性能DMA：300元/点
4、原位扫描探针成像：200元/张
5、快速力学性能成像：2000元/张(20*20矩阵)