探针式表面轮廓测量技术：接触模式
台阶高度重复性 ≤ 5 Å
高彩色光学导航摄像头：分辨率 ≥ 500万像素，像素数量不小于1700 μm × 1400 μm，可选择放大倍数
探针作用力：传感器中包含1 mg - 50 mg。
扫描长度范围 ≥ 55 mm（或2寸），次扫描数据采集点 ≥ 120,000，大样品厚度 ≥ 50 mm（或2寸），扫描速度包含2 μm/s - 10 mm/s
垂直方向扫描范围 ≥ 1 mm，垂直方向分辨率 ≤ 1 Å

台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。
应力测量：可测量多种材料的表面应力。

测量台阶高度、粗糙度、波纹度、表面应力

不允许自主上机，只允许送样检测。
预约前必须先与联系人确认测试参数要求。

200元/样品