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等离子体刻蚀机
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仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
型号：GSE、C200
厂商：北京北方华创微电子装备有限公司
所在地区：河南省新乡市牧野区
服务次数：0
普通预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
用于石墨烯、MoS2、Si等多种材料的刻蚀。刻蚀速率≥15nm/min，刻蚀深度≤50nm
主要功能
采用感应耦合高密度等离子实现多种材料的刻蚀
服务内容
实现多种材料的刻蚀
用户须知
预约使用
参考收费标准
1000元/小时
联系方式
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河南师范大学
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服务次数：62
历史访问：549
服务态度：
1.11
分
服务质量：
1.11
分
服务效率：
1.11
分
综合评价：
1.11
分
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