1. 分辨率
高真空模式：5.0 μm（加速电压 15 kV）。
低真空模式：8.0 μm（加速电压 15 kV，适合非导电样品无需镀膜）。
2. 加速电压
范围：5 kV 至 15 kV（可调），平衡分辨率与样品穿透深度。
3. 放大倍数
范围：20x 至 40,000x，满足从宏观到微观的观察需求。
4. 样品室与载物台
最大样品尺寸：直径 70 mm，高度 30 mm。
载物台移动范围：
X/Y 轴：50 mm × 50 mm（电动控制，精度高）。
Z 轴（工作距离）：4.5 mm 至 30 mm（可调，优化成像效果）。
5. 探测器
标配探测器：
背散射电子探测器（BSE）：用于成分对比成像（Z 衬度）。
二次电子探测器（SE）：高分辨率表面形貌成像。
低真空模式：支持直接观察非导电样品（无需镀金）。
6. 真空系统
模式：支持高真空和低真空模式（压力可调）。
抽真空时间：约 2 分钟（快速启动，提升效率）。
7. 自动化功能
自动对中/聚焦：简化操作流程，降低使用门槛。
预校准光学导航：快速定位感兴趣区域。

表征材料微观（微米级）结构及其组成元素分析

材料微米级结构表征及其元素分析

培训后可上机操作

院内300元/小时，院外400元/小时