主要技术参数
1.二次电子分辨率：3.0nm@30kV，8.0nm@3kV；
2.放大倍率：7~1,000,000倍；
3.加速电压：0.2kV～30kV；
4.电子束流：0.5pA – 5μA；
5.马达台最大移动行程：X轴：80mm，Y轴：100mm，Z轴：35mm；马达台可双向倾斜，倾斜范围：-10°~90º，马达台可360°自由连续旋转；
6.单幅图片最大图像扫描存储分辨率：32000 × 24000像素；
7.能谱仪探测器：有效面积15mm2，能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV，元素分析范围：B5～Cf98。

扫描电子显微镜可利用二次电子或背散射电子信号对材料进行超高分辨微观组织形貌分析。该设备配有能谱仪，可对材料微区成分元素种类与含量分析。可广泛应用于金属材料及高分子材料、纳米材料、半导体材料与器件等多个领域。

拍摄SEM图像、BSE图像、EDS分析。

提前3天预约。

钨灯丝SEM+EDS：200元/小时