温度范围：室温且温度恒定 物镜倍率：5X 10X 50X
纳米模块最大载荷：400mN 纳米模块最大压入深度：250μm
微米模块最大载荷：40N 微米模块最大压入深度：1mm
纳米模块最大划痕长度：100mm 微米模块最大划痕长度：100mm

微纳米压痕仪是用于微纳米尺度下材料的力学性能的测试与研究，主要通过测压入载荷与压入深度的曲线自动获得材料的硬度、杨氏模量，进而可进行断裂刚度、蠕变性能、弹塑性能、应力释放、粘弹性能等力学参数的评价。可进行微纳米尺度下材料的微观形貌结构的研究。评价材料制备工艺条件和服役性能。可应用于薄膜及超薄膜(金属膜、陶瓷膜、Low k 膜、多层复合膜等)，复合材料(树脂基、陶瓷基、金属基、纤维增强材料表面及界面等)聚合物 (共混物、共聚物等)，金属及合金(晶面/晶界/组织相、金属玻璃、稀土等)，电子及半导体(硅片、蓝宝、硬脆及软脆材料等)

纳米压痕、纳米划痕、微柱压缩、摩擦磨损等分析测试

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纳米压痕、纳米划
痕、微柱压缩、摩擦磨
损等：400元/小时