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技术指标 该设备的主要功能是通过化学气相沉积技术，在较大尺寸的碳基复合材料表面制备SiC涂层。设备的结构由炉体、加热保温系统、真空系统、尾气处理系统、工艺气路系统、炉门升降及进出料系统、气动系统、水冷系统、操作平台以及测量与控制系统等组成。 最高温度：1600℃，单次连续工作超过15小时，工作温度：≥1500℃，在1500℃下可连续工作超过100小时，工作气氛：Ar、H2、N2、MTS
主要功能 主要应用于较大尺寸碳基复合材料SiC涂层的制备。
服务内容 低压化学气相沉积SiC涂层设备由炉体、加热保温系统、真空系统、尾气处理系统、工艺气路系统、炉门升降及进出料系统、气动系统、水冷系统、操作平台、测量与控制系统等组成，主要应用于较大尺寸碳基复合材料SiC涂层的制备。
用户须知 1、送样制备至少提前一周预约，并说明样品类型及实验条件； 2、样品请注明，影响能否制备，若因未告知导致仪器损坏，需承担所有维修费用； 3、具体预约时段及要求见附件《收费标准》，耗材费另计。其它事项提前联系管理员沟通。
参考收费标准 较大尺寸碳基复合材料SiC涂层的制备(温度＜1600℃)：12000元/炉 具体根据工艺不同，价格在议。