这款设备采用立式结构设计，集成了多项先进技术。该设备由炉体、加热保温系统、真空系统、尾气处理系统、炉门升降及进出料系统、工艺气路系统、气动系统、水冷系统、操作平台以及测量和控制系统等多个部分组成，特别适用于较大尺寸高纯SiC涂层的制备。该设备的最高温度可达1600℃，并且能够单次连续工作超过15小时。工作炉压范围在100Pa~9000Pa，适应不同的工艺需求。常规工作温度为1500℃，在此温度下的工作时间可超过100小时。加热功率高达150kW，确保了高效的加热性能。工作气氛包括Ar、H2、N2、MTS等多种气体，适应不同的涂层制备需求。

本设备为立式结构，由炉体、加热保温系统、真空系统、尾气处理系统、炉门升降及进出料系统、工艺气路系统、气动系统、水冷系统、操作平台和测量和控制系统等组成，主要应用于较大尺寸高纯SiC涂层的制备。

应用于较大尺寸高纯SiC涂层的制备。

1、送样制备至少提前一周预约，并说明样品类型及实验条件；
2、样品请注明，影响能否制备，若因未告知导致仪器损坏，需承担所有维修费用；
3、具体预约时段及要求见附件《收费标准》，耗材费另计。其它事项提前联系管理员沟通。

较大尺寸高纯SiC涂层的制备：24000元/炉
具体根据工艺不同，价格在议。