高重频飞秒激光器和光波导加工系统用于在玻璃中加工三维任意形状的波导阵列，其中加工出的单根波导的直径可满足5-30um范围内可调，波导长度能达到10cm，波导折射率可小范围调节，单根波导的损耗系数小于0.1dB/cm。波导近场模式分析仪用于探测加工好的波导导光模式以及光在波导阵列中的传输特性。

高重复频率飞秒激光放大器配合光波导加工系统用于波导阵列的制备，由于加工系统中所用的是高速三轴联动的高精密位移台，因此可以不仅满足低损耗直波导的制备，还能进行三维弯曲波导阵列的加工。另外，还有一台波导模式分析系统用于对加工好的波导阵列样品进行光传输探测。
设备的购置主要解决拓扑波导阵列的制备和加工问题，实现超精密、低损耗、多结构的三维弯曲波导阵列，以及不同结构光在波导阵列中传输时的光学探测，可以为拓扑系统中新物理的研究提供多样的实验观测手段，还为三维多功能集成器件的制造提供了平台。

超快激光直写系统中包含一台高重复频率的飞秒激光放大器、一套光波导加工系统和一套波导模式分析系统。其中，高重复频率飞秒激光放大器配合光波导加工系统用于波导阵列的制备，由于加工系统中所用的是高速三轴联动的高精密位移台，因此可以不仅满足低损耗直波导的制备，还能进行三维弯曲波导阵列的加工。另外，还有一台波导模式分析系统用于对加工好的波导阵列样品进行光传输探测。

超快激光直写系统中包含一台高重复频率的飞秒激光放大器、一套光波导加工系统和一套波导模式分析系统。其中，高重复频率飞秒激光放大器配合光波导加工系统用于波导阵列的制备，由于加工系统中所用的是高速三轴联动的高精密位移台，因此可以不仅满足低损耗直波导的制备，还能进行三维弯曲波导阵列的加工。另外，还有一台波导模式分析系统用于对加工好的波导阵列样品进行光传输探测。

内部200元/小时，外部另议