服务信息
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1.减薄角度:最大正负角度≤10°每一只离子枪可独立调节;
2.样品台移动:在仪器内部载台可以实现X和Y方向的移动,移动范围:≥+/-0.5mm;
3.加速电压(离子束能量):最低能量≤0.1keV,最高能量≤8keV,并可指标化。可在不同电压下自动优化离子束束流。满足高电压减少非晶快速减薄,低电压精细修复;
4.离子束调制:可以进行角度选择性区域离子减薄,最大选区角度≥90°,选区可调范围区间≥80°,并日连续可调。 -
用于透射电镜样品制备,利用氩离子束将样品减薄从而具有大面积电子穿透薄区,经氩离子减薄的样品可在透射电镜下直接观察。
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用于透射电镜样品制备,利用氩离子束将样品减薄从而具有大面积电子穿透薄区,经氩离子减薄的样品可在透射电镜下直接观察。
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需与设备管理员沟通具体样品要求
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具体收费需与设备管理员沟通
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