1.最大压痕载荷500mN;载荷分辨率0.02uN;载荷背底噪声rms0.5uN;1.
2.最大压痕深度 200um; 深度分辨率 0.01nm;深度背底噪声rms0.15nm;纳米压痕刚度:10N/m；
3.纳米压痕针尖具有防碰撞设计;无需拆下纳米压痕模块,即可更换压痕针尖;纳米压痕压头采用高刚度 Macor 驱动轴导向和驱动，热膨胀系数7x10'ppm/°C，热导率 1.5W/m°C；
4.信号采样率192kHz。

可支持纳米力学和微米力学测试联用,可在无需更换模块或针尖的条件下一次实验完成压痕和划痕测试。支持纳米和微米尺度的压痕测试能力，可以计量并测定精确的力-位移曲线，获得材料的微米和纳米压痕硬度、弹性模量、断裂韧性、应力应变、蠕变、疲劳、维氏硬度等力学性质;同时具备微米和亚微米尺度的划痕测试能力。

可支持纳米力学和微米力学测试联用,可在无需更换模块或针尖的条件下一次实验完成压痕和划痕测试。支持纳米和微米尺度的压痕测试能力，可以计量并测定精确的力-位移曲线，获得材料的微米和纳米压痕硬度、弹性模量、断裂韧性、应力应变、蠕变、疲劳、维氏硬度等力学性质;同时具备微米和亚微米尺度的划痕测试能力。

需与设备管理员沟通具体样品要求

具体收费需与设备管理员沟通