1、离子溅射仪:主机、真空系统、靶材。A1.1二次电子分辨率:15nm@1kV;
2、背散射电子分辨率:5.0nm@20kV(低真空);加速电压:0.3~20kV连续可调，100V步进，并配束流优化功能；放大倍数:6倍~300000倍(底片放大倍数)16~800,000(数码放大显示倍率);
3、真空系统A：标配RVF功能的低真空设计，低真空范围 6-100Pa，软件界面及操作台实现高低真空切换，且高低真空一键切换，无需手动更换光阑。二级真空系统：机械泵1台:100L/min，分子1台:61L/s;真空系统带停电、漏电系统保护;电子光学系统：电子枪:预对中灯丝设计，自动偏压设计，保证低电压成像;

用于各种固体样品表⾯进⾏⾼分辨形貌观察并配有EDS对目标样品进行点、线、面形貌扫描和元素成分定量分析和鉴定。主要用于生物学、植物学、微生物学、土壤学、材料学、冶金学灯领域。

1.微细结构观察:台式扫描电子显微镜能够对各种样品的表面形貌进行高分辨率观察，适用于生物样品、金属材料、陶瓷材料等的微观结构分析。
2.成分分析:通过配备能谱仪(EDS)，台式扫描电子显微镜可以快速检测样品中的元素组成及其分布，帮助研究材料的化学成分。
3.材料研究:在材料科学中，台式扫描电子显微镜用于研究材料的构效关系、纳米和微米结构检测，以及材料的断口分析。

1 仪器设备使用前，应认真学习仪器设备使用说明书和注意事项，实验指导教师应在实验室管理负责人的安排下接受培训，学生使用仪器设备前应在实验指导教师的安排下接受培训。 2 操作人员应熟练操作设备，清楚设备日常保养知识和安全操作知识，并进行基本的保养和维护、维修，认真填写《河南科技大学实验记录本》。 3 仪器设备发生故障，操作人员无法解决时应报告实验室管理负责人解决处理。 4 仪器设备使用人员应严格按操作规程工作，认真遵守交接班制度，准确填写规定的各项实验记录。 5 操作人员在维修设备时，未经实验室管理负责人批准，不准拆卸或配用其他的机器零件和工具。 6 对不遵守操作规程或玩忽职守，使设备收到损失者，根据《河南科技大学本科生实验教学管理办法》（河科大教[2018]15号文件要求，酌情给予经济处罚。

600元/样