服务信息
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溅射室极限真空度：优于≤8x10-6Pa
溅射室抽速：25分钟可达到6x10-4Pa
溅射成膜的片内膜厚均匀性：≤±3%
承受驻波比：＞3.0
真空测量：测量范围：1x105Pa-1x10-7Pa
工艺真空测量：测量范围：0.013pa-13.3Pa
机械泵1台抽速13升/秒
分子泵1台抽速1300升/秒 -
用于功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备
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安排专人测试样品
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至少提前一周预约
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按时计费,100元/时
联系方式
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