服务信息
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腔室尺寸:沉积室尺寸Ф450mm
进样室尺寸φ150mm*300mm
基片台尺寸：2英寸；基片可连续回转，转速5～20转/分
沉积室极限真空高度≤6.6*10-6Pa
进样室极限真空高度≤5X10-2Pa
沉积室抽速：沉积室从大气开始抽气：20分钟可达到6*10-3Pa
进样室从大气开始抽气：5分钟可达到10Pa -
用来制备氧化物薄膜、金属薄膜、高温超导薄膜、铁电薄膜、生物陶瓷薄膜等功能薄膜方面的应用研究。
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安排专人测试样品
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至少提前一周预约
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按时计费,100元/时
联系方式
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