1）2向扫描范围10mm；
2）台阶高度测量精度（0.15+L/100）um（5jm台阶高标准块）；
3）台阶高度测量重复性12nm（5um台阶高标准块）；
4）宽度测量精度士2%；
5）宽度测量重复性40nm；
6）3D测量：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
7）影像洲量：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；
8）自动拼接；设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量
9）数据处理：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
10）分析工具：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
11）批量分析：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能
12）便捷操作：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等

材料共聚焦显微镜能够对样品表面进行逐点扫描，通过共聚焦原理精确获取每个点的高度信息，从而进行高精度的三维轮廓重建。这种高精度的测量能力可以用于研究微纳结构表面的粗糙度、台阶高度等。

1. 基础培训服务：为首次使用仪器的用户提供免费基础操作培训，包括仪器开机关机、参数调节、样品放置、软件基础操作等，协助用户通过考核，确保具备独立操作能力。
2. 实时技术咨询：用户在预约、操作、实验过程中遇到任何疑问，可通过电话、现场咨询等方式联系管理员，管理员及时提供专业解答，协助解决实验难题。
3. 仪器耗材保障：统一配备仪器基础使用耗材（镜头纸、清洁布、载玻片等），定期补充，确保用户使用过

1. 使用前必须完成仪器操作培训并通过考核，未掌握操作流程、未通过考核者，严禁擅自操作仪器。
2. 开机前检查仪器状态（电源、光路、软件连接等），发现异常（无法开机、报错、光路偏移等），立即停止操作，关闭电源并告知管理员，严禁自行调试或维修。
3. 严格按照操作手册及培训要求操作，严禁擅自更改仪器参数、拆卸部件、连接无关外部设备；如需调整参数，需在管理员指导下进行，操作完毕后恢复默认设置。
4. 实验样品需符合仪器使用标准，严禁将腐蚀性、易燃易爆、有毒有害样品放入仪器，避免损坏仪器或引发安全事故；操作时佩戴手套、口罩，保持仪器及操作台清洁。
5. 实验结束后，及时清理样品、试剂，擦拭载物台及镜头，关闭仪器电源、光源及相关软件，整理好实验用品，做到人走物清。
6. 严格遵守实验室安全规定，防范触电、火灾、试剂泄漏等风险，熟悉应急处理流程，遇突发情况（断电、故障、污染），立即停止操作，采取应急措施并联系管理员。
7 因操作不当、违规更改参数、使用不合格样品等导致仪器损坏、故障或部件损耗的，由使用者承担全部维修费用及相应责任，情节严重者取消使用资格并上报相关部门。

按机时计费，参考标准为100元/小时；使用时间不足0.5小时按0.5小时计费，满0.5小时不足1小时按1小时计费，以0.5小时为最小收费节点，贴合共聚焦显微镜共享使用常规标准。
其他说明：基础使用收费已包含仪器基础耗材（镜头纸、清洁布、载玻片等）费用；用户需使用特殊耗材的，由用户自行提供或按实际耗材成本额外计费；因用户违规操作导致仪器损耗、故障产生的维修费用，由用户另行承担，不包含在上述收费范围内