1.扫描范围(X、Y)：100mmx100mm；
2.扫描分辨率(X、Y、Z)：1.0nm；
3.线性位移编码分辨率：50nm；
4.最大扫速：10mm/s；
5.最大扫描范围(Z)：100mm；
6.适用模块：SECM、AC-SECM、Stylus SECM、SVET、SKP、LEIS、OSP，SDC，ISP；
6.1 SECM-扫描电化学测试模块
6.1.1最大输出电压：±12V；6.1.2电流范围：4nA~2A；6.1.3最大输出电流：2A；6.1.4电流分辨率：125fA；6.1.5输入阻抗：1012Ω；6.1.6极化电压：±10V；6.1.7电流测量精确度：士0.2%；6.1.8最小时基：2μs；6.1.9最大扫描速率：5000V/s。
6.2 SVET-扫描振动电极和SKP-扫描开尔文探针模块
6.2.1信号通路：相敏检测锁相放大器和差分静电计；6.2.2单独独立的双数字高精度锁相放大器；6.2.3频率范围：0.001Hz~250KHz；6.2.4满刻度灵敏度：10nV~1V；6.2.5输出时间常数：10μs

使用不同的测量探针，且安装位置与样品非常接近，但是不接触到样品。随着探针测试的进行，改变探针的空间位置。然后将所记录的数据对探针位置作图，针对不同技术，该图可以呈现微区电化学电流，阻抗，相对功函或者是表面形貌图。

扫描电化学显微镜 (SECM)；扫描振动电极技术 (SVET)；扫描开尔文探针 (SKP)；局域电化学阻抗谱 (LEIS)；扫描液滴池 (SDC)；非接触式表面轮廓表征；离子选择性探针 (ISP)

1、本单位提供标准样品池，有特殊需求请自备样品池；
2、需明确测试需求方可预约

50元/小时