1. 测试台适用器件尺寸为 毫米级别；含4探针，4个三 同轴连接器和4个探针支架， 信号低至1 pA 。2. 电学分析模块测试通道2路，支持两电极、三电极、 四电极器件测试。 3. 控温范围室温~500℃，分辨率 0.1℃,稳定性±0.2℃。 4. 测试功能：I-t，R-t、V-t、 I-V、V-I、Id-Vgs 和 Id-Vds 等。 5. 静态配气模块腔室5L，液体蒸发器控温：室温 ~250℃，温湿度传感器1个。 6. 气氛模拟模块气体气路 数量：背景气1路，快切气路1路，目标气体气路2路。7. 气体稀释倍数5000倍，低至 ppb 级别配气。8. 电流范围：100pA ~200mA；电阻测量范围：1Ω~10GΩ；电压范围：±200 mV~±10 V。9. 全自动控制软件支持气体自动切换、含浓度、流量、程控（最高可设 2000 步）模式；支持50~3600 s气氛湿度预混；内部集成高纯气体信息185种，支持新加气体。

半导体参数分析系统集材料制备、器件加工与性能测试于一体，具备喷墨打印、点胶、刮涂等多种微纳加工功能，可实现柔性电子器件及气体传感器的制备。系统支持电学参数测试（I-V、I-t、R-t等）、超大电阻测量及多通道测试，并可实现电学信号与温度、湿度、气氛、光照等多场参数的同步采集与原位分析。同时具备痕量气氛模拟与精确配气功能，可实现ppb级低浓度、多组分气体环境控制，满足呼出气体模拟及传感器性能研究需求。

"1.提供新型功能材料敏感特性测试、气体传感器性能测试及机理分析服务；
2.支持呼出气体成分模拟、疾病标志气体检测及相关科研测试；
3.提供柔性电子器件（传感器、光电器件等）的制备与性能评价服务；
4.面向校内外开放共享，提供电学测试、气氛模拟及材料表征等技术服务；
5.提供设备安装调试、操作培训、数据分析及技术咨询服务；

"1. 用户须通过大型仪器共享平台预约，经审核后方可使用；
2.使用前须接受操作培训，未经许可不得独立操作设备；
3.严格遵守实验室安全管理规定，涉及气体使用需按规范报备；
4.按操作规程规范使用设备，严禁违规或超范围操作；
5.使用过程中须在管理人员指导下进行，出现异常应立即上报；
6.使用结束后应做好设备登记及环境整理；
7.设备对外开放为有偿服务，收费标准按学校相关规定执行。"

300元每件