1. 场发射电子枪
2. 配有二次电子探测器和背散射电子探测器
3. 分辨率：二次电子0.5nm@15kV， 1.0nm@1kV
4. 总加速电压：20V～30kV，以10V为步进，连续可调
5. 放大倍数：10倍～10万倍
6. 工作距离：1.5mm～40mm
7. 扫描速度多档可调
8. 样品移动：X：0～130mm；Y：0～130mm；Z：50mm；R = 360，倾斜T范围： -4°～+70°
9. 样品最大尺寸：250mm 直径
10. 样品防撞警报装置：非接触式碰撞保护功能
11. 牛津X射线能谱仪有效晶体面积65mm2
12. 一体化导航相机
13. 照片可包含编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等
14. 图像储存：多种格式和尺寸，最大存储分辨率32K*24K像素

材料科学（高分子/纳米材料）：微观结构、界面分析、纳米表征、断裂分析；
电子&先进制造：芯片失效、PCB检测、半导体表征、3D打印质检、微纳器件形貌；
能源研究：电池电极、燃料电池催化剂、固态电解质界面表征；
生命科学&农业&生物医药：组织超微结构与形貌、药物载体表征、作物/土壤分析；
工业质检：医疗器械、汽车零部件、航空航天材料、包装材料检测；
地质&矿物&考古：矿物晶体结构、化石/岩石分析、文物鉴别、腐蚀层研究；
环境&食品科学：污染物颗粒、微生物膜、沉积物、食品微观结构、添加剂分散性检测。

Sigma 560是采用Gemini电子光学技术的高分辨率场发射扫描电镜。配备多种探测器：二次电子（SE）、Inlens、背散射（BSE），可针对不同样品获取表面形貌、成分衬度等信息。

1．样品应是干燥样品。
2．样品在真空中应保持稳定。
3．粉末样品如果不是特别细，应用碳导电胶粘在台上。
4．严禁测试强磁性粉末或易磁化粉末。
5．导电性不好的粉末应予以喷金处理

自主测试：
自主测试 院内：200元/小时
送样检测：
形貌观察 院内：150元/样品
形貌+EDS 院内：250元/样品
EDS 院内：250元/样品
样品喷金：
样品喷金 院内：10元/样品