1. 冷场发射电子枪
2. 配备真空转移系统，可与离子研磨仪、原子力、手套箱之间真空转移样品。
3. 配有高位探测器及低位二次电子探测器
4. 分辨率：二次电子0.6nm@15kV，0.7nm@1kV
5. 总加速电压：0.01～30kV，其中加速电压: 0.5～30 kV，着陆电压: 0.01～20kV，可满足低电压下EDX 分析
6. 电子束流：1pA～20nA，且连续可变，无电子束损伤，电子源直径5nm
7. 放大倍数：20倍～200万倍（底片模式）
8. 工作距离：1.5mm～40mm
9. 扫描速度多档可调
10. 电镜具有直接观察不导电样品的能力，混合SE和BSE信号解决不导电样品的荷电问题
11. 样品移动：X：0～110mm；Y：0～110mm；Z：1.5～40mm；R = 360，倾斜T范围： -5°～+70°
12. 样品最大尺寸：150mm 直径
13. 样品防撞警报装置：非接触式碰撞保护功能
14. 牛津X射线能谱仪Ultimmax100，电制冷探测器，有效晶体面积：100mm2
15. 配置气氛保护功能，可以实现易氧化样品从手套

日立冷场场发射扫描电镜用于无机材料、纳米材料、高分子材料、新能源材料等物质表面形貌观察与成分分析。二次电子成像分辨率达 0.6nm@15kV，搭配新型探测器实现高衬度快速成像，支持多信号混合观测，并显著提升了高通量和自动数据获取能力。该设备采用新型电子枪，在低加速电压下仍能获得高信噪比图像，支持长时间测试和大电流分析。低电压模式可无损观测生物、高分子等敏感/不导电样品，样品仓兼容 6英寸大样品，配备防碰撞保护。

本设备为多台设备联用，设备配有集成 EDS 能谱仪、离子研磨仪及真空转移系统。可用于元素定性半定量分析。且真空转移附件小巧，方便放置手套箱内样品制备，可应用于水氧敏感样品的气氛保护下样品制备，之后在气氛保护下转移到样品仓内。离子研磨后的样品也可通过真空转移系统直接转移到样品仓内，再进行观察和分析等。

1、样品应是干燥样品。 2、样品在真空中应保持稳定。 3、粉末样品如果不是特别细，应用碳导电胶粘在台上。 4、严禁测试磁性粉末或易磁化粉末。 5、导电性不好的粉末应予以喷金处理

送样检测：
喷金（Pt） 院内：20元/样品
EDS 院内：100元/样品
送样包时半天8：30-12：00 院内：800元/次
送样包时半天14：30-18：00 院内：800元/样品
SEM+EDS 院内：150元/样品
真空转移仓 院内：100元/次
SEM 院内：100元/样品
自主上机：
自主上机 院内：200元/小时
喷金（Pt） 院内：20元/样品