1. 电子枪：肖特基场发射电子枪
2. 分辨率：无样品台减速的标准模式下≤0.5nm@15kV，≤0.9nm@1kV；
3. 加速电压范围：20V～35kV
4. 束流大小：1pA～20nA
5. 放大倍数1x～2,50万（底片倍率）
6. 样品台移动位置：X≥110mm，Y≥110mm，Z≥65mm，T：-10°~+70°，R：360°连续可调
7. 最大样品尺寸：直径260mm，高70mm；
8. 样品台承重：≥3kg
9. 快速换样舱：可在1min内完成换样，最大样品直径≥110mm，最大高度≥40mm
10. 直接电子探测计数相机：探测层：Si,300μm；像素数量：256×256；像素尺寸：55μm×55μm；
感光区面积：14 mm×14mm
11. 布鲁克能谱仪分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效晶体面积100mm2
12. 图像显示：768×512像素或1536×1024像素

场发射扫描电镜用于无机材料、纳米材料、高分子材料、新能源材料等物质制样及表面形貌高分辨观察与成分分析

场发射扫描电子显微镜，广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。该仪器的最大特点是具备超高分辨扫描图像观察能力，尤其是采用最新数字化图像处理技术，提供高倍数、高分辨扫描图像，并能即时打印或存盘输出，是纳米材料粒径测试和形貌观察

1．样品应是干燥样品。
2．样品在真空中应保持稳定。
3．粉末样品如果不是特别细，应用碳导电胶粘在台上。
4．严禁测试磁性粉末或易磁化粉末。
5．导电性不好的粉末应予以喷金处理

自主测试：
自主测试 院内：150元/小时
送样检测：
SEM 院内：80元/样品
包时半天 14:30-18:00 院内：700元/次
EDS 院内：50元/样品
SEM+EDS 院内：100元/样品
喷金 （Au） 院内：10元/样品
包时半天 8:30-12:00 院内：700元/次