服务信息
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1. 极限真空优于： 4×10-5pa；
2. 主泵抽速不低于700L/S，采用分子泵；
3. 前级泵抽速不低于15 m3/h；
4. 气动高真空插板阀，通径大于等于150mm；
5. 带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；
6. 腔体充氮气，从常压抽至5×10-4pa的时间要求不超过15分钟。 -
金属、金属氧化物薄膜高真空环境下的物理沉积。
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主要用于太阳能电池制备的相关科学研究，可以实现多种金属电极（如银、铝、金等）的真空沉积，即在高真空环境下排除空气分子的干扰，高质量的沉积金属电极。
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使用该设备需要按照样品槽规格准备样品。
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自主上机，600元/小时。
委托测试，1000元/小时。
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