1.  最大功率600 W（15 kV×40 mA），最大束斑2 mm × 1 mm椭圆，单位面积上的激发功率0.38 mW/μm2。
2. 静电传输透镜：能量扫描范围-10～3200 eV。
3. Al/Mg Kα辐射：0～1500 eV可调，最小步长3.125 meV。
4. Ag Lα辐射：0～3000 eV可调，最小步长3.125 meV。
5. UPS：He紫外光源，不低于0～65eV可调，最小步长1meV像素数（子探测器个数）：298375个，且子探测器全部可用；像素物理尺寸100μm×100μm；支持固定和扫描模式及原位分析。
6.  深度剖析离子枪：单个Ar原子和团簇；单Ar离子能量：0.5~5keV，团簇Ar能量：2~20keV，团簇Ar：500~3000Ar

主要用于材料表面化学态分析。

X 射线光电子能谱仪主要分析材料表面表层的元素种类与原子相对含量。可精准表征各元素的化学价态、化学键类型及官能团结构。还能做表面元素深度剖析、元素分布及表面污染与改性效果表征。

1. 送样请至少提前一天预约，并说明样品类型及测试条件。
2. 制样要求：粉末或薄膜。粉末需均匀干燥，质量不少于50 mg。块体/薄膜样品表面应光滑平整，无污染，尺寸需大于5 mm x 5 mm，高度在 1 mm至5 mm之间。
3. 不能被测试的样品种类：具有放射性的样品；真空中会释放大量气体，尤其释放的气体具有腐蚀性的样品；有化学毒性和生物毒性的样品。
4.  默认给测试的原始数据，所有数据不矫正，（因不同的材料矫正方法不同），不平滑。默认是一个样品测试一个位置，需要测试多个位置按照多个样品计费。
5.  具体预约时段及要求见附件《收费标准》，耗材费另计。

【XPS收费标准】：100元/样（限3个元素，每增加一个元素加收50元）；
【XPS深度溅射收费】：单次刻蚀收费：氩离子刻蚀：10nm内100元，超过后每增加10nm+50元；团簇刻蚀：10nm内200元，超过后每增加10nm+100元；总刻蚀费用=单次刻蚀费用*刻蚀次数
【XPS大尺寸收费】：高度小于3mm，5mm≤直径＜10mm加收50元，10mm≤直径＜20mm加收150元，20mm≤直径＜30mm加收250元，30mm≤直径＜40mm加收350元，40mm≤直径＜50mm加收450                                       元，50mm≤直径＜60mm加收550元。
【UPS收费标准】：块体/薄膜样品500元/样，粉末需要制样加100元/样，需要氩单原子离子表面清洁加50元/样，氩团簇离子表面清洁加100元/样。