XM60
线性测量：测量精度±0.5 ppm（使用XC80环境补偿单元）；测量分辨率 1nm；测量范围： 0 ~ 4m；
俯仰和扭摆测量精度：±0.004A ±(0.5 微弧度 +0.11M 微弧度)；测量分辨率：0.03 微弧度；测量范围：±500 微弧度；
线度测量：测量精度： 典型范围精度：±0.01A ±1 μm , 测量范围： ±50 μm;扩展范围精度：±0.01A ±1.5 μm,测量范围±250 μm ；测量分辨率：0.25 μm；
滚摆测量：测量精度： ±0.01A ±6.3 微弧度；测量分辨率：0.5 微弧度；测量范围： ±500 微弧度
XK10
直线度测量：测量范围： ±5mm精度： ±0.01A±1μm
垂直度测量：测量范围： ±5mm精度I±0.01A/M ±2/M ±10μm /m
平面度测量：测量范围： ±5mm精度： ±0.01A ±1 ±(1 + 1.1M) μm
平行度测量：范围： ±5 mm
XR20
分度精度： ±5μm/m(±1arc sec）
重复精度： 1μm/m(±0.2arc sec）

用于数控机床及非标数控激光加工设备的装调过程中几何精度的检测及校准，以及提供故障诊断源进行分析。设备采用先进的多光束激光检测原理结构，以及多模块测量应用场景，实现多自由度误差检测和精度故障综合分析。

用于数控机床及非标数控激光加工设备的装调过程中几何精度的检测及校准，以及提供故障诊断源进行分析。设备采用先进的多光束激光检测原理结构，以及多模块测量应用场景，实现多自由度误差检测和精度故障综合分析。
线性轴定位/重复定位精度测量；旋转轴定位/重复定位精度测量；

送样请至少提前两天预约，并说明样品类型及实验条件。
被测设备要求：被测量的设备单轴可被控移动，可自由选择移动方向、移动速度、移动距离与移动完毕后停顿时间；被测移动设备需可被磁铁吸附。
不能被测试的设备种类：不具备可控移动条件的设备、不具备磁铁吸附能力的设备。
设备需要专业人员操作，未经培训不得上机操作；

XM60：1500元/轴，XR20KIT：1000元/轴，XK10：400元/项