1 扫描平台及控制系统
1.1 定位系统：X、Y、Z轴全部采用高精度的压电马达和闭环控制系统。
1.2 光学平台：钢质蜂窝状光学平台，采用抗震技术，能够提供水平的热稳定表面。
1.3 扫描范围(X、Y)100mm×100mm；扫描分辨率（X、Y、Z）: 1nm
1.5 适用模块不少于： SECM、AC-SECM、Stylus SECM、SVET、SKP、LEIS、OSP，SDC，ISP
1.6 彩色探针成像系统：CCD成像，图像分辨率795×596。
2 SECM-扫描电化学测试模块
2.1 两台独立的电化学工作站组成的双电化学测试系统，可以单独使用进行常规电化学实验包括电化学噪声，电化学交流阻抗测试，每套仪器都包括完整的直流测试和交流阻抗测试模块。
2.2 支持2，3，4电极测试，浮地测试。
2.3 常规电化学测试技术，包括所有的宏观常规电化学测试技术。
3 LEIS-微区阻抗测试模块
3.1 频率范围：10μHz~1MHz
3.2 交流振幅范围：0.1mV~1V
3.2 显示模式：阻抗的线扫、面扫、点频率扫描、Bode and Nyquis图

材料腐蚀：分析局部腐蚀机理与涂层防护性能。
电池储能：原位监测电极界面阻抗与固态电解质传导。
电催化：研究催化剂活性位点的微区电化学行为。
半导体 / 电子材料：表征电化学沉积均匀性与 MEMS 局部特性。
生物医学：探索生物材料腐蚀与酶电极催化机制。
核心能力：微区（微米级）电化学信号原位表征，揭示局部反应机制。

是一套基于电化学扫描探针的设计基础上、可以进行超高的测量分辨率及空间分辨率的非接触式微区形貌及电化学微区测试系统。可实现常见微区扫描探针电化学测试技术及激光非接触式微区形貌测试，如SECM、SVET、LEIS、SKP、ISP以及OSP等。可与常规电化学工作站联合开展有机和金属涂层缺陷和完整性、半导体材料微小区域的表面缺陷、损伤和均匀程度研究；可用于反应动力学，生物传感器，催化剂和腐蚀机理等研究。

样品要求：
尺寸与表面：适配扫描平台，表面平整（尤其纳米级扫描需抛光），固定牢固。
导电性：样品或电解液需导电，绝缘样品可涂覆导电层。
电解液：兼容水 / 非水溶液，腐蚀性液体需特殊配件。
安全性：有毒 / 挥发性样品需在通风环境操作，避免高压 / 高温（常规模式）。

具体请与仪器管理员联系