1.能量分辨率和灵敏度(正常工作条件下):对Ag 3d5/2峰，半高宽≤0.45eV，计数率强度≥160Kcps;
2.平行成像XPS空间分辨(锐利刀口样品，线扫描强度80%~20%的宽度):≤1um
3.从图得谱:利用一系列顺序能量的光电子平行图像，在某一像素点上重构该点光电子能谱，空间分辨优于1um(对200x200 um2)视场
4.最小扫描能量步长:1meV(UPS)/小于3meV (XPS)

对材料表面几个原子层(1-10nm)的化学组成、价态及成像等进行综合分析与表征：
·对固体材料进行元素及其化学状态、价带电子态分析
·实现表面元素及其化学状态的二维分布、纵深方向分布分析
·分子能级分析

1.表面的元素成分、元素化学态信息
2.做样品表面元素化学状态的快速成像
3.紫外光电子能谱(UPS)分析固体材料表面的元素(3Li-92U)的价带电子结构

1.样品须无放射性、无腐蚀性、无磁性;
2.样品不吸水，无挥发性物质(如单质Na,K,S,P,Zn, Se,As,l. Te, Hg或者有机挥发物);
3.在超高真空中及X光照射下不分解，不释放气体;
4.只测固态样品，可测块状、粉末、及薄膜样品;

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