电子枪：超亮冷场发射电子枪
加速电压：60-300kV
信息分辨率：70 pm
STEM分辨率：50 pm
EDS能量分辨率：136 eV（Mn-Kα）
聚光镜及物镜球差矫正器
STEM成像探头：高角环形暗场（HAADF）探头，明场（BF）和环形暗场（ADF）探头
能谱系统：四探头无窗式
CMOS相机：4k×4k，16M, DPC/iDPC成像系统
直接电子探测相机：探头尺寸4k×4k像素，像素尺寸：14×14 μm
能量过滤器电子能量损失谱，能量分辨率0.3 eV

·低倍形貌成像
·高分辨率晶格像
·原子尺度TEM/STEM成像
·选区电子衍射（SAED）
·微区成分分析（EDS-Mapping）
·三维重构分析
·能量过滤透射成像（EFTEM）
·电子能量损失谱分析（EELS）

形貌观察、微区结构表征、相位衬度像，原子级分辨率成像

使用前请先与设备管理员联系

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