离子源：两束独立可调节的全电磁线圈聚焦氩离子源
加速电压范围：每支离子枪能量均包含100 eV到10 keV，可选择单枪工作或双枪工作，两支电子枪电压均独立连续；步进 0.1kV
束斑尺寸：300 μm 到5 mm，可连续调节，精度：1%
减薄角度范围：+10°~-15°之间，每只离子枪可独立调节。精度为 1°
样品台:样品台直径 3mm，能够水平 360 度连续旋转，同时可进行+180°- -180°摇摆
配备光学正置体式显微镜放大倍数 7 到 45 倍

利用离子束作用于样品表面,实现样品减薄，通过调节离子束斑 直径和能量大小,使样品厚度接近电子透明程度，制备可直接进 行 TEM 观察的样品。

电镜样品制备

使用前请先与设备管理员联系

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