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技术指标 高分辨场发射扫描电镜（含电制冷能谱）主要技术指标：二次电子分辨率≤0.6 nm@15kV，加速电压0.5-30 kV，放大倍率10-1,500,000倍；能谱仪能量分辨率≤129 eV（Mn Kα），元素分析范围Be⁴⁻Cf⁹⁸，具备点、线、面分析模式。
主要功能 该系统主要功能是观察材料亚纳米级超微结构和成分分析。利用高亮度场发射电子枪获得高分辨率图像，同时通过电制冷能谱仪进行微区元素定性与定量分析，可实现形貌观察、粒径测量、晶体能谱 mapping 及元素线扫描等。
服务内容 高分辨场发射扫描电镜（含能谱）的服务内容包括：到场安装调试、操作培训（含能谱分析）、定期维护（如电子枪烘烤、能谱液氮加注）、远程技术支持（2小时内响应）、故障维修及原厂配件（灯丝、探测器、电制冷单元）供应，并提供应用方案开发。
用户须知 使用高分辨场发射扫描电镜（含能谱）时，用户须知：样品须干燥、导电（非导电需喷金），尺寸匹配样品台，避免磁性或挥发性物质；操作时逐步加高压并校正像散；能谱分析前需校准峰位；测试完毕泄真空并保持镜筒真空度优于1×10⁻⁴ Pa。
参考收费标准 咨询设备管理员