1.卡盘直径:4英寸(101.6mm)
2.温度范围:80K~773K;温度稳定性:士0.1℃。
3.探针臂:>4只;探针臂可扩展为6只;探针臂X-Y-Z移动距离:50-25-25mm;
4.与半导体参数分析仪连接测试漏电流:≤100fA
5.真空度:极限真空≤1*10-4Pa;真空度配备分子泵组(抽速 290L/s)
6.探针移动精度:小于2um
7.支持四路直流，配备相应线缆，线缆长度为2m;
​​​​​​​8.配置防震工作台，台面面积为 75cm*65cm;
9.配置的 CCD 相机像素为 200 万
10.配置的显示器的尺寸为 23.8 寸,像素分辨率为 2560*1440

提供高低温真空环境下的微区电学测试，可与参数分析仪联用，实现器件的原位表征与失效分析。

器件 I-V/C-V 测试、射频 / 光电测试、电磁输运特性、霍尔效应、半导体器件高低温电学参数。

预约测试须知： 1、送样请至少提前三天预约，预约时如实告知样品类型，阅读相关文献，明确测试需求； 2、样品应无毒无害，无放射性，其他样品要求请与设备管理员沟通确认； 3、平台不无偿提供测试所需耗材用品； 4、使用过程的任何隐瞒行为导致设备重大损失的，除承担相应维修费用外，平台有权单方面终止合作； 5、具体预约时段及要求提前联系管理员沟通，耗材费另计。 预约请登录：https://dygx.hnskxy.com/ 地点：河南省郑州市长椿路国家大学科技园3号楼B座 联系人：杜老师 电话 15937116263

具体收费标准需要与管理员沟通确认