X射线管为Rh靶微焦点侧窗口管，最大激发50kV/30W；X射线光学仪采用多毛细管光学仪，光点小至25μm（或准直器1–2mm）；探测器为硅漂移探测器(SDD)5030，敏感区30mm²；能量分辨率：Mn-Kα约145eV；最大计数率>300,000cps；电动X-Y-Z平台，行程200×160×120mm，最大速度200mm/s；配备三个摄像头系统，支持马赛克成像，最大取样面积200×160mm²；真空系统约120秒达到20mbar最终真空；最佳工作温度22–28°C，工作湿度20–80%无凝结；仪器尺寸约815×680×580mm，重量约130kg

用于材料的元素分析，可确定材料的元素组成或分析涂层系统（确定厚度和组成）；可进行小取样区分析（最小25μm）、线扫描及平面扫描元素分布分析

适用于文物材质成分分析、表面涂层分析、微区元素分布检测、矿物鉴定、颜料分析、金属锈蚀产物分析等文物保护研究领域

个人防护：佩戴个人剂量计；运行时远离舱口，勿直视/伸入光路；固体/金属：表面平整、无氧化、无油污；用800目砂纸轻磨，无水乙醇清洁；粉末：200目过筛，压片均匀无裂纹；或用样品杯+Mylar膜，表面平整。液体：专用样品杯+耐腐蚀膜，防泄漏；严禁强酸强碱/高挥发性液体。禁忌：样品含水/挥发性物质会污染光路、损坏探测器；松散粉末勿直接入舱

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