1.成像性能优异：二次电子像分辨率6nm、背散射电子像分辨率20nm。
2.电子束参数可调且稳定：加速电压0.2~30kV（步长0.1kV），最大束流10μA，束流稳定度极高。
3.超大倍率观测范围：图像放大倍数40~300000倍连续可调。
4.全元素精准分析：波谱仪可检测5B-92U元素范围，主元素分析精度1%、次要元素分析精度5%。
5.高端波谱配置：搭载5道波谱仪、10块分光晶体，支持大小罗兰圆切换。
6.高效检测无需校准：分光晶体1.4秒自动切换，换晶、换元素无需重新聚焦。
7.一体化能谱配置：搭载无液氮电制冷SDD能谱仪，分辨率129eV。
8.高精度定位观测：光学显微镜分辨率1μm、焦深±1μm。

设备搭载高性能电子光学系统，成像分辨率优异，可精准区分黄铜等相似矿物结构，0.2~30kV连续可调加速电压与高稳定束流，保障地质微区分析的精度与稳定性。核心配备5道波谱仪+一体化能谱仪，可分析5B-92U全范围元素，主、次元素分析精度高，搭配快速自动换晶、无需二次聚焦技术，40s即可完成全元素定性分析，适配各类地质矿物检测。
设备集成光学显微、阴极发光探测模块，可同步采集样品形貌、成分衬度与阴极发光图像，实现多信号联动分析。高精度样品台支持大范围移动与微米级精确定位，搭配漂移补偿、自动过滤及曲面分析功能，可完成地质样品精准的点、线、面元素分布测试。

1.微区化学成分定性分析：鉴定样品微区（微米级）内含有的元素种类。
2.微区化学成分定量分析：精确测定样品微区内各元素的含量。
3.元素线扫描分析：分析元素在样品选定直线上的分布变化。
4.元素面分布分析（Mapping）：生成样品微区内元素分布的面分布图像。
5.高分辨率二次电子像（SEI）观察：观察样品表面的微观形貌。
6.背散射电子像（BSE）观察：观察样品的成分衬度图像

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500元/时