2.2 *内置集成彩色光学显微与导航系统，放大倍数20～120倍,具有明场和暗场两种模式；
2.3 *电子放大倍数：45,000倍
2.4 *背散射电子探测器分辨率：优于25nm；
2.5 *加速电压
2.7 *可直接观测不导电样品，无需喷金；
2.8 *预抽真空时间
2.10 *为了方便样品定位，图像观测具备光学和电子导航界面，与成像界面在同一屏幕上；
2.11探测器：高灵敏度背散射电子探测器；
2.12 *从开始载样到成像时间：30s；
2.13观察模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）；
2.14图像格式：jpg，tiff，bmp；
2.15图像分辨率： 456x456；684x684；1024x1024；2048x204
2.17*软件平台：Linux系统，对病毒免疫；
2.18数据存储：移动硬盘或者电脑、网络存储；
2.22可实现自动调节对比度、亮度、聚焦、以及灯丝预对中；

对样品进行电子光学分析

对样品进行电子光学分析

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