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仪器资源
深刻机（DRIE）
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仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
型号：omega LPX ICP-SR
厂商：SPTS Technologies limited
所在地区：河南省郑州市中原区
服务次数：0
普通预约
创新券预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
1、4英寸晶圆
2、刻硅：Si、Ti、Pt等多种材料
3、EBS电压及He冷背压
4、刻蚀速率：0.01~3.5um/min
5、侧壁角度：90°+-1°
主要功能
目标材料上面等离子体刻蚀深槽，主要应用于MEMS
服务内容
MEMS的刻蚀
用户须知
待修，暂时不对外开放。
参考收费标准
1000元/时
联系方式
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郑州大学
更多仪器>
服务次数：38
历史访问：753
服务态度：
5
分
服务质量：
5
分
服务效率：
5
分
综合评价：
5
分
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