1.分辨率：
　高真空模式：3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV
　低真空模式： 3.0nm @ 30kV, 12nm @ 3kV
　环境真空模式： 3.0nm @ 30kV
　背散射电子像： 4.0nm @ 30kV
2.样品室压力最高达2600Pa
3.加速电压200V ～ 30kV，连续调节
4.样品台移动范围：X=Y=50mm
5.附件：能谱分析（EDAX公司能谱仪）

金属材料的相分析及断裂形貌观察、固体表面形貌观察、尺度及膜厚度分析、材料表面元素分析

金属材料的相分析、表面形貌观察及表面元素分析

提前1周预约

300元/小时，EDS加收200元/时