图像分辨率：高空二次电子像：1.9nm @30kV，5nm @3kV。
发射源：六硼化镧灯丝。
加速电压范围：200V～30kV，10V步进连续可调。
探针电流范围：0.5pA～5μA，连续可调。
放大倍数：范围5x～1,000,000x
物镜光栏为3级可变光栏
扫描速度：各种扫描速度15种。
样品室内部尺寸：365mm（直径）×275mm（高）
样品台类型：5轴马达驱动样品台。
可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm。
高真空二次电子探测器。配备五分割背散射电子探测器。
样品室红外配有CCD摄像装置。
图像存储分辨率3072×2304像素
图像显示分辨率为1024×768像素

利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

提前一周预约。

260元/小时，能谱100元/样，镀膜100元/次