极限真空度：≤8.0x10-6 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；

原子层沉积系统兼具脉冲激光沉积（PLD）和光谱分析两大功能。本系统为部分自制、部分进口设备，主要为我物理学科光电功能材料与技术开放实验室提供材料制备与测试方面的研究工作服务。设备主要分为三部分，缺一不可，分别为：准分子脉冲激光器（单个脉冲能量400 mJ）、自制真空产生设备（分子泵和机械泵）与真空腔体、紫外可见近红外光谱分析仪（测试波长范围185 nm-3300 nm）。准分子脉冲激光器与球形真空室利用专门的配套连接装置实现整体对接，光谱分析仪与激光镀膜部分组合，实现镀膜过程中样品反射光性质的实时表征。可实现激光镀膜系统的反射光谱的实时分析。

镀膜、薄膜材料光学测量

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