X-Y方向扫描范围：90μm*90μm典型值，最小85μm；Z方向扫描范围10μm典型值，在成像及力曲线模式下，最小9.5μm；垂直方向噪音基底＜30pmRMS，在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）；X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）；X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz）；整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值；样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径≤210mm, 厚度≤15mm；电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性

主要针对薄膜样品或者纳米粒子等进行分析，测试模式包括智能扫描、压电响应、峰值力成像、定量纳米力学性能测量、光电流测试、扫描隧道测试、电化学测试等测试，可以进行对材料的纳米结构、性能进行表征

主要对薄膜样品进行分析，粉末及液下样品请联系协商

需提前预约，每周开放8小时

200元/样