服务信息
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镀膜室尺寸：φ700×700 mm；
极限真空：8×10-8Pa；
直流稳压电源：N≦5000W，四台；
直流偏压电源：N≦200W，-200V；
气路流量：0~200SCCM两路，0~10SCCM一路；
靶数：3靶；
基体背面加热温度：900℃。 -
可在金属、玻璃、陶瓷基片上镀膜，所镀膜层具有均匀、致密、附着力强等特点，可以制备耐磨损薄膜、硬质膜、超硬膜、固体润滑膜和光电功能薄膜。
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镀膜
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提前一周预约
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100-1000元/样
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