"1）*系统构造要求：
采用主流、成熟的样品水平放置设计，加载测试系统垂直向下（非侧向加载）施加可控制的压力作用于试样。
2）*最小有效加载载荷：0.1mN
3）*最大有效加载载荷：500mN
4）*有效载荷分辨率：≤40nN
5） 最小接触力：≤1uN
6） 最大压痕深度≥20um
7） 位移分辨率：≤0.04nm
8）*具有硬件上表面参比的设计，实时硬件扣除热漂移效应（非软件拟合扣除热漂移）
9）*热漂移：小于0.04nm/sec（白天测试,以熔融硅为测试样品，开机后15分钟内，在1mN下保载300s，进行测量，300秒内位移深度的变化值最大不超过12nm）。
10）加载模式：电磁驱动加载
11） 位移测量：电容位移传感器

测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性

测量纳米尺度的硬度与弹性模量

1.用户通过“大型仪器设备共享网络平台”查阅信息并确定拟使用的仪器设备；2.用户提前两周填写《材料微观特性测试仪-大型仪器设备开放共享使用申请表》并与实验中心负责人联系；3.用户到设备所在实验中心（室）核算加工测试、试验等服务费用；4.实验中心（室）为用户进行加工测试、试验等； 5.测试（加工、试验等）完成后，用户和实验中心（室）主任签字确认，实验室管理委员会审核； 6.用户到财务处缴纳使用加工测试、试验等服务费用； 7.用户持缴款收据到实验中心（室）领取测试（加工、试验等）结果; 8.进入实验室人员，要遵守实验中心的各项规章制度，损坏设备需要维修或视情节进行赔偿。

为便于管理和确定收费数额，按照以下标准收费： （1）校外横向项目按照试样（试件）数量收费：每个试样（试件）收取仪器采购价格的0.3%； （2）校内教师科研项目、研究生论文试验、挑战杯试验按照试样（试件）数量收费：每个试样（试件）收取仪器采购价格的0.1%； （3）如需实验室教师做试验，应支付实验室教师技术指导费300元/天，该项费用应提前预付，试验结束后进行结算； （4）由于使用者的原因长期无故占用实验室，按照仪器采购价格的0.1%/天收取场地使用费。