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原子层沉积系统（ALD)
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仪器分类：工艺实验设备 -> 其他 -> 其他
型号：PICOSUN TM R-200
厂商：PICOSUN OY公司
所在地区：河南省郑州市高新区
服务次数：0
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创新券预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
400℃以下，原子级别薄膜沉积
主要功能
薄膜制备的检测与分析
服务内容
原子层精度介电薄膜制备,
用户须知
请提前一周预约，仅可以做Al2O3和TiO2膜，制备厚度不超过5nm。
参考收费标准
院内50元/样品/nm厚度，校内200元/样品/nm厚度，校外600元/样品/nm厚度
联系方式
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郑州大学
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服务次数：38
历史访问：755
服务态度：
5
分
服务质量：
5
分
服务效率：
5
分
综合评价：
5
分
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