-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um
Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）
X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz）
整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径≤210mm, 厚度≤15mm
电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。
显微镜光学系统：五百万像素数字照相机
180um至1465um可视范围
数字缩放及自动对焦功能

结合Veeco最新的行业领先的针尖-扫描AFM技术，Icon的温度补偿定位传感器使Z轴的的噪音水平达到亚-埃米级，X-Y方向达埃米级。在大样品台、90微米扫描范围系统的仪器当中，这种表现是非常突出的，优于绝大部分的开环、高分辨率AFM系统的噪音水平。

材料表面形貌表征，材料表面的性质分析

有机固体、聚合物以及生物大分子等，样品大小一般不超过 1cm，高度也应控制在 1cm 以下，样品表面起伏不超过 15μm

800元/样